Publication detail

Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode

GLAJC, P. ZLÁMAL, J. MACH, J. KOLÍBAL, M. ŠIKOLA, T.

Czech title

Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou

English title

Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode

Type

Peer-reviewed article not indexed in WoS or Scopus

Language

cs

Original abstract

Článek se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje a testováním jeho parametrů. Jedná se o iontový zdroj se sedlovým polem, který je určen primárně pro odprašování vzorků ionty N2+ či Ar+. Hlavním rozdílem vytvořeného zdroje oproti klasickým iontovým zdrojům se sedlovým polem je použití žhavené wolframové katody, což vede ke zvýšení elektronového proudu v ionizační oblasti. V článku je popsán simulační model vytvořený v programu Electron Optical Design, pomocí něhož je také určena teoretická účinnost iontového zdroje. Dále je popsán konstrukční návrh a nejdůležitější prvky zdroje. Článek se také věnuje testování a optimalizaci prototypu iontového zdroje, zejména pak měření velikosti vystupujícího iontového proudu.

English abstract

This paper deals with development of a new type of ion source and with testing of its parameters. The ion source is a saddle-field type and is designed primary for sputtering of solid targets by N2+ or Ar+ ions.

Keywords in Czech

Iontový zdroj; Sedlové pole; Žhavená katoda; Odprašování; EOD

Keywords in English

Ion source; Saddle field; Heated cathode; Sputtering; EOD

Released

2014-07-01

ISSN

0447-6441

Journal

Jemná mechanika a optika

Volume

59

Number

6-7

Pages from–to

181–183

Pages count

3

BIBTEX


@article{BUT108676,
  author="Petr {Glajc} and Jakub {Zlámal} and Jindřich {Mach} and Miroslav {Kolíbal} and Tomáš {Šikola}",
  title="Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2014",
  volume="59",
  number="6-7",
  pages="181--183",
  issn="0447-6441"
}