Stick-slip piezoelektrický motor

Stick-slip piezoelectric motor

Functioning sample

cs

Stick-slip piezomotor je speciálně navržen pro hrubé přiblížení sondy k vzorku v rastrovacím sondovém mikroskopu dříve vyvinutém na ÚFI. Pohyb zajišťuje série střižných piezoelementů, které jsou buzeny speciálně tvarovaným napěťovým pulzem. Princip spočívá ve využití rozdílných koeficientů tření na styčných plochách pohyblivé a statické části motoru (tzv. princip stick-slip). Přesnost pohybu vymezuje kluzné lineární vedení. Motor je určen pro provoz v ultravakuu, vedení nevyžaduja maziva a pro výrobu byly použity vakuově kompatibilní materiály. Jeho velikost je 46 mm x 30 mm x 11 mm a umožňuje pohyb o 10 mm.

Stick-slip piezomotor is designed for coarse approach of the probe to the sample in a scanning probe microscope previously developed at the IPE. Movement is provided by series of shearplate piezoelectric elements driven by a specially shaped voltage pulse. The principle of movement is based on different friction coefficients on the interface between moving and static part of the motor (ie. stick-slip phenomenon). Precision of movement is defined by a sliding linear guide. The motor is designed for operation in ultra-high vacuum, guide do not require lubrication and only vacuum-compatible materials were used for fabrication. Its size is 46 mm x 30 mm x 11 mm and displacement up to 10 mm.

piezomotor; piezoelement; stick-slip; motor; velmi vysoké vakuum; SPM

piezomotor; piezoelectric element; stick-slip; motor; ultra- high vakuum; SPM

2015-11-04

A2/518