Product detail

Functional prototype of a UHV SEM/SPM

DOLEŽEL, P. LOPOUR, F. PLACHÝ, L. SKLADANÝ, R. ZIGO, J. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T.

Czech title

Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM

English title

Functional prototype of a UHV SEM/SPM

Type

Prototype

Language

cs

Original abstract

Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM obsahuje: UHV SEM tubus, přípravní komora, in-beamSE detektor, chlazení (voda/LN2) pro shutter objektivové čočky, manipulátor s rotací, efuzní cela, instalovaný spektrometr Augerovych elektronů, loadlock vybavený pre-loadlockem a preparační komora. Celá aparatura je instalovaná s rámem se zvýšenou tuhosti a aktivním tlumením vibrací. Sestava je také vybavena UHV kompatibilním kryoSPM skenerem vlastní konstrukce.

English abstract

The functional prototype of the UHV SEM / SPM apparatus contains: UHV SEM column, preparation chamber, in-beamSE detector, cooling (water / LN2) for objective lens shutter, rotary manipulator, effusion cell, installed Auger electron spectrometer, loadlock equipped with pre-loadlock and preparation chamber. The whole apparatus is installed on a frame with high stiffness and active vibration damping. The apparatus is also equipped with a UHV compatible cryo-SPM scanner that was designed and constructed in-house.

Keywords in Czech

ultra vysoké vakuum; rastrovací elektronový mikroskop; rastrovací hrotový mikroskop; nanomanipulace; nanotechnologie

Keywords in English

ultra high vacuum; scanning electron microscope; scanning-probe microscope; nanomanipulation; nanotechnology

Create date

2017-12-31

Location

TESCAN Brno s.r.o.

BIBTEX


@misc{BUT170651,
  author="Pavel {Doležel} and Filip {Lopour} and Ladislav {Plachý} and Roman {Skladaný} and Juraj {Zigo} and Petr {Bábor} and Tomáš {Šikola}",
  title="Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM",
  year="2017",
  note="Prototype"
}