Publication detail

Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.

KONVALINA, I.

Czech title

Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.

Type

Paper in proceedings (conference paper)

Language

cs

Original abstract

Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu, které ovlivňují transport částic z oblasti vzorku k detektoru.

Keywords in Czech

ET detektor, sekundární elektrony, magnetické pole

Released

2005-03-15

Location

BRNO

ISBN

80-239-4561-0

Book

PDS 2004 – Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky

Pages from–to

31–

Pages count

4

BIBTEX


@inproceedings{BUT21744,
  author="Ivo {Konvalina}",
  title="Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM.",
  booktitle="PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky",
  year="2005",
  pages="4",
  address="BRNO",
  isbn="80-239-4561-0"
}