Publication detail

A SIMS anlysis of solid surfaces

BÁBOR, P.

Czech title

Analýza povrchů tenkých vrstev metodou SIMS

English title

A SIMS anlysis of solid surfaces

Type

Paper in proceedings (conference paper)

Language

cs

Original abstract

Hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů (SIMS) je založena na bombardování povrchu pevné látky ionty. Dopad iontů s danou energií do povrchové vrstvy způsobuje odprašování částic z tohoto prostoru. Primární ionty jsou implantovány do pevné látky, nebo se odráží od povrchu. Některé uvolněné částice, především atomy, ale i molekuly a shluky atomů (clustery), jsou ionizovány, což umožní jejich identifikaci hmotnostním analyzátorem. Hmotnostní spektrum sekundárních iontů nám poskytuje informaci o prvkovém složení povrchu.

English abstract

SIMS – Secundary Ion Mass Spectroscopy is a tool for chemical analysis of solid surfaces. Incident ion beam is sputering parcicles from solid surface. Some of that atoms (molecules, clusters) are ionized, so we cas analize them by mass spectromery.

Keywords in English

SIMS

Released

2001-09-19

Publisher

Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně

Location

Brno

Book

Juniormat '01 sborník

Pages from–to

131–

Pages count

3

BIBTEX


@inproceedings{BUT3357,
  author="Petr {Bábor}",
  title="Analýza povrchů tenkých vrstev metodou SIMS",
  booktitle="Juniormat '01 sborník",
  year="2001",
  pages="3",
  publisher="Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně",
  address="Brno"
}