Publication detail
In situ measurements of surface homogenity of optical properties of thin films prepared by IBAD
URBÁNEK, M. ZLÁMAL, J.
Czech title
In situ plošné monitorování optických vlastnotí tenkých vrstev připravovaných metodou IBAD
English title
In situ measurements of surface homogenity of optical properties of thin films prepared by IBAD
Type
Paper in proceedings (conference paper)
Language
cs
Original abstract
Článek se zabývá in situ měřením plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev SiO2 připravených metodou IBAD. Zařízení pracuje na principu spekrální odrazivosti. Rovněž je uvedeno několik příkladů aplikace.
English abstract
In the paper the in situ observation of areal homogenity of optical properties of SiO2 thin films prepared by IBAD is reported. The work has been done on the instrument working an the principles of spectral reflectivity designed in our group. Homogenous grown of an SiO2 thin film with an average growth rate of 103 nm/hour during the deposition was observed. In the second experiment, the ion beam etching rate of the thermal SiO2 thin film was 200 nm/hour with enhanced roughness of the etched film.
Keywords in English
Surface homogenity, reflectivity
Released
2001-09-19
Publisher
Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně
Location
Brno
Book
Juniormat '01 sborník
Pages from–to
274–
Pages count
3
BIBTEX
@inproceedings{BUT3361,
author="Michal {Urbánek} and Jakub {Zlámal}",
title="In situ plošné monitorování optických vlastnotí tenkých vrstev připravovaných metodou IBAD",
booktitle="Juniormat '01 sborník",
year="2001",
pages="3",
publisher="Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně",
address="Brno"
}