Mikroskop s pomalými elktrony řízený počítačem

Computer Controlled Low Energy SEM

journal article - other

en

In the last two decades the low energy range is employed in the SEM operation for many reasons that include reduced charging of non-conductive specimens, better visualization of surface relief, larger emitted signals and, at very low energies below 100 eV, new families of image contrasts. There fore software for the determination of the critical energy was implemented to the comercial SEM microscope. First results are presented here.

V posledních desetiletích se v REM prosazuje práce s pomalými elektrony. Důvodem je redukce nabíjení nevodivých vzorku, lepší topografický kontrast, větší emitovaný signál a pro energie primarniho svazku pod 100eV objevení nových kontrastů. Z těchto důvodů byl software umozujíci paraci na nízských energiích implementován do komerčního mikroskopu. V tomto článku jsou prezentovány první vysledky práce s tímto softwarem.

In the last two decades the low energy range is employed in the SEM operation for many reasons that include reduced charging of non-conductive specimens, better visualization of surface relief, larger emitted signals and, at very low energies below 100 eV, new families of image contrasts. There fore software for the determination of the critical energy was implemented to the comercial SEM microscope. First results are presented here.

SEM, non-conductors, critical energy

07.09.2003

Microscopy and microanalysis

9

3

2