Product detail

Wien filter – apparatus for mass selection of ion beams

VOBORNÝ, S. POKORNÝ, J. JÁNSKÝ, P. ŠIKOLA, T.

Czech title

Wienův filtr – zařízení pro hmotnostní selekci iontových svazků

English title

Wien filter – apparatus for mass selection of ion beams

Type

Functioning sample

Language

cs

Original abstract

Zařízení sestává z elektromagnetického obvodu, který uvnitř vakuové trubice, umístěné na dráze iotového svazku, vytváří zkřížené homogenní elektrické a magnetické pole. Vhodným nastavením intenzity elektrického pole a magnetického pole permanentního magnetu lze separovat nežádoucí nečistoty z iontového svazku (především kyslík a uhlík). Zařízení lze provozovat na plovoucím potenciálu. Napětí na elektrodách je řízeno počítačem pomocí vlastního software.

English abstract

The apparatus consists of the electromagnetic circuit generating crossed homogenous electric and magnetic field inside of the vacuum tube implemented into an ion trajectory. By the proper setting of the electric field intensity and magnetic field of the permanent magnet the undesirable impurities from the ion beam can be selected (oxygen and carbon, above all). Voltages applied on electrodes are controlled using proprietary software.

Keywords in Czech

hmotnostní filtr, hmotnostní separace, iontové svazky, nečistoty, tenké vrstvy

Keywords in English

mass filter, mass selection, ion beams, impurities, thin films

Create date

2008-12-01

Location

A2/518

BIBTEX


@misc{BUT69864,
  author="Stanislav {Voborný} and Josef {Pokorný} and Pavel {Jánský} and Tomáš {Šikola}",
  title="Wienův filtr - zařízení pro hmotnostní selekci iontových svazků",
  year="2008",
  url="http://www.physics.fme.vutbr.cz/",
  note="Functioning sample"
}