Publication detail

System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.

URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. BUČEK, M. NEUGEBAUER, P. ŠIKOLA, T.

Czech title

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

English title

System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.

Type

Peer-reviewed article not indexed in WoS or Scopus

Language

cs

Original abstract

Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.

English abstract

Description of device for measuring surface homogenity of thin films.

Keywords in English

thin films, optical reflection, interferometry

Released

2003-06-01

ISSN

0447-6411

Volume

48

Number

6

Pages from–to

163–

Pages count

3

BIBTEX


@article{BUT41943,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Miroslav {Buček} and Petr {Neugebauer} and Tomáš {Šikola}",
  title="Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev",
  year="2003",
  volume="48",
  number="6",
  pages="3"
}