Detail publikace
Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev
URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. BUČEK, M. NEUGEBAUER, P. ŠIKOLA, T.
Český název
Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev
Anglický název
System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.
Typ
Článek recenzovaný mimo WoS a Scopus
Jazyk
cs
Originální abstrakt
Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.
Anglický abstrakt
Description of device for measuring surface homogenity of thin films.
Klíčová slova anglicky
thin films, optical reflection, interferometry
Vydáno
2003-06-01
ISSN
0447-6411
Ročník
48
Číslo
6
Strany od–do
163–
Počet stran
3
BIBTEX
@article{BUT41943,
author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Miroslav {Buček} and Petr {Neugebauer} and Tomáš {Šikola}",
title="Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev",
year="2003",
volume="48",
number="6",
pages="3"
}