Product detail

Imaging Reflectometer

SPOUSTA, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T. CHMELÍK, R.

Czech title

Zobrazovací in situ reflektometr

English title

Imaging Reflectometer

Type

Functioning sample

Language

cs

Original abstract

Monitorování plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev.

English abstract

Optical device for monitoring of surface homogeneity of thin films

Keywords in Czech

tenké vrstvy, in situ analýza, optické vlastnosti, reflektometr

Keywords in English

thin films, in situ analysis, optical properties, reflectometer

Create date

2007-01-23

Location

A2/518

BIBTEX


@misc{BUT69591,
  author="Jiří {Spousta} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola} and Radim {Chmelík}",
  title="Zobrazovací in situ reflektometr",
  year="2007",
  note="Functioning sample"
}