Detail produktu

Zobrazovací in situ reflektometr

SPOUSTA, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T. CHMELÍK, R.

Český název

Zobrazovací in situ reflektometr

Anglický název

Imaging Reflectometer

Typ

Funkční vzorek

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Monitorování plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev.

Anglický abstrakt

Optical device for monitoring of surface homogeneity of thin films

Klíčová slova česky

tenké vrstvy, in situ analýza, optické vlastnosti, reflektometr

Klíčová slova anglicky

thin films, in situ analysis, optical properties, reflectometer

Datum vzniku

2007-01-23

Umístění

A2/518

BIBTEX


@misc{BUT69591,
  author="Jiří {Spousta} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola} and Radim {Chmelík}",
  title="Zobrazovací in situ reflektometr",
  year="2007",
  note="Functioning sample"
}