Product detail

Hydrogen Atom Beam Source.

MACH, J. ŠIKOLA, T.

Czech title

Termální disociační zdroj atomů vodíku.

English title

Hydrogen Atom Beam Source.

Type

Functioning sample

Language

cs

Original abstract

Přístroj vytváří užitím vysokoteplotní disociace (2000 K) svazek atomů vodíku o termální energii (0.1 – 1 eV). Tento svazek má mnoho různých aplikací, jako například: nízkoteplotní čištění a modifikace povrchů a tenkých vrstev, molekulární svazkové epitaxe s asistencí atomárního vodíku.

English abstract

The source generates hydrogen atomic beam with thermal energy (0.1 – 1 eV) by thermal dissociation (at 2000 K). The source is used for UHV applications: low-temperature cleaning and modification of surfaces and thin films, and hydrogen assisted molecular beam epitaxy.

Keywords in Czech

Atomární vodík; termální disociační zdroj atomů vodíku; atomární zdroj; vodík; disociace

Keywords in English

Atomic hydrogen; thermal atom source of hydrogen; atom source; hydrogen; dissociation

Create date

2008-03-03

Location

A2/518

BIBTEX


@misc{BUT69957,
  author="Jindřich {Mach} and Tomáš {Šikola}",
  title="Termální disociační zdroj atomů vodíku.",
  year="2008",
  url="http://www.physics.fme.vutbr.cz/",
  note="Functioning sample"
}