Detail produktu
Termální disociační zdroj atomů vodíku.
MACH, J. ŠIKOLA, T.
Český název
Termální disociační zdroj atomů vodíku.
Anglický název
Hydrogen Atom Beam Source.
Typ
Funkční vzorek
Jazyk
cs
Originální abstrakt
Přístroj vytváří užitím vysokoteplotní disociace (2000 K) svazek atomů vodíku o termální energii (0.1 – 1 eV). Tento svazek má mnoho různých aplikací, jako například: nízkoteplotní čištění a modifikace povrchů a tenkých vrstev, molekulární svazkové epitaxe s asistencí atomárního vodíku.
Anglický abstrakt
The source generates hydrogen atomic beam with thermal energy (0.1 – 1 eV) by thermal dissociation (at 2000 K). The source is used for UHV applications: low-temperature cleaning and modification of surfaces and thin films, and hydrogen assisted molecular beam epitaxy.
Klíčová slova česky
Atomární vodík; termální disociační zdroj atomů vodíku; atomární zdroj; vodík; disociace
Klíčová slova anglicky
Atomic hydrogen; thermal atom source of hydrogen; atom source; hydrogen; dissociation
Datum vzniku
2008-03-03
Umístění
A2/518
BIBTEX
@misc{BUT69957,
author="Jindřich {Mach} and Tomáš {Šikola}",
title="Termální disociační zdroj atomů vodíku.",
year="2008",
url="http://www.physics.fme.vutbr.cz/",
note="Functioning sample"
}