Product detail

IonProfile

BÁBOR, P. DUDA, R. ŠIKOLA, T. PAVERA, M. POLČÁK, J.

Czech title

IonProfile

English title

IonProfile

Type

Software

Language

cs

Original abstract

Soubor programů umožňující řízení hloubkových profiloměrů SIMS, TOF-LEIS a XPS. Jsou zde zahrnuty programy pro zpracování a simulace měřených dat metodou TOF-LEIS.

English abstract

Software package for controlling of SIMS, TOF-SIMS and XPS profilometers. It includes software for evaluation and simulation of TOF-LEIS measured data.

Keywords in Czech

SIMS, XPS, TOF, LEIS, profilování, simulace, odprašování, ionty

Keywords in English

SIMS, XPS, TOF, LEIS, profiling, simulation, sputtering, ions

Create date

2009-12-18

Location

Laboratoř 518

BIBTEX


@misc{BUT70829,
  author="Petr {Bábor} and Radek {Duda} and Tomáš {Šikola} and Michal {Pavera} and Josef {Polčák}",
  title="IonProfile",
  year="2009",
  url="http://physics.fme.vutbr.cz/ufi.php?Action=0&Id=1854",
  note="Software"
}