Detail produktu
IonProfile
BÁBOR, P. DUDA, R. ŠIKOLA, T. PAVERA, M. POLČÁK, J.
Český název
IonProfile
Anglický název
IonProfile
Typ
Software
Jazyk
cs
Originální abstrakt
Soubor programů umožňující řízení hloubkových profiloměrů SIMS, TOF-LEIS a XPS. Jsou zde zahrnuty programy pro zpracování a simulace měřených dat metodou TOF-LEIS.
Anglický abstrakt
Software package for controlling of SIMS, TOF-SIMS and XPS profilometers. It includes software for evaluation and simulation of TOF-LEIS measured data.
Klíčová slova česky
SIMS, XPS, TOF, LEIS, profilování, simulace, odprašování, ionty
Klíčová slova anglicky
SIMS, XPS, TOF, LEIS, profiling, simulation, sputtering, ions
Datum vzniku
2009-12-18
Umístění
Laboratoř 518
BIBTEX
@misc{BUT70829,
author="Petr {Bábor} and Radek {Duda} and Tomáš {Šikola} and Michal {Pavera} and Josef {Polčák}",
title="IonProfile",
year="2009",
url="http://physics.fme.vutbr.cz/ufi.php?Action=0&Id=1854",
note="Software"
}