Product detail

Device for silicon wafer analysis

PÁLENÍČEK, M. WERTHEIMER, P. ŠULC, D.

Czech title

Zařízení na analýzu křemíkových desek

English title

Device for silicon wafer analysis

Type

Functioning sample

Language

cs

Original abstract

Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).

English abstract

Device consists of motorized microscope XY-manipulator and control electronics. The electronics controls motors and positions silicon wafer with micrometer precision. It enables taking photos of whole silicon wafer surface. Software analyse photos of silicon wafer surface and detects number and position of defects (OISF).

Keywords in Czech

zařízení; křemíkové desky; defekty; vrstevné chyby; manipulator; analýza obrazu

Keywords in English

device; silicon wafer; defects; manipulator; image processing

Create date

2012-12-09

Location

On Semiconductor, Rožnov pod Radhoštěm

BIBTEX


@misc{BUT96754,
  author="Michal {Páleníček} and Pavel {Wertheimer} and Dalibor {Šulc} and Tomáš {Šikola}",
  title="Zařízení na analýzu křemíkových desek",
  year="2012",
  note="Functioning sample"
}