Detail produktu
Zařízení na analýzu křemíkových desek
PÁLENÍČEK, M. WERTHEIMER, P. ŠULC, D.
Český název
Zařízení na analýzu křemíkových desek
Anglický název
Device for silicon wafer analysis
Typ
Funkční vzorek
Jazyk
cs
Originální abstrakt
Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).
Anglický abstrakt
Device consists of motorized microscope XY-manipulator and control electronics. The electronics controls motors and positions silicon wafer with micrometer precision. It enables taking photos of whole silicon wafer surface. Software analyse photos of silicon wafer surface and detects number and position of defects (OISF).
Klíčová slova česky
zařízení; křemíkové desky; defekty; vrstevné chyby; manipulator; analýza obrazu
Klíčová slova anglicky
device; silicon wafer; defects; manipulator; image processing
Datum vzniku
2012-12-09
Umístění
On Semiconductor, Rožnov pod Radhoštěm
BIBTEX
@misc{BUT96754,
author="Michal {Páleníček} and Pavel {Wertheimer} and Dalibor {Šulc} and Tomáš {Šikola}",
title="Zařízení na analýzu křemíkových desek",
year="2012",
note="Functioning sample"
}