Sestava VUT TOF-SARS pro detekci vodíku

BUT ToF-SARS analyzer for hydrogen detection

Funkční vzorek

cs

Zařízení umožňuje analyzovat prvkové složení vzorku a to především koncentraci vodíku a některých lehkých atomů (C,O) s vysokou povrchovou citlivostí. Zařízení se skládá ze zdroje iontů (He, Ne apod.), ultravakuového (UHV) manipulátoru se vzorkem, detektoru rozptýlených a vyražených atomů a zdroje atomárního vodíku. Vodík přítomný ve vzorku je vyrážen nízkoenergiovými ionty Ne následně letí driftovou trubicí k detektoru. Jeho energie je analyzována na základě měření jeho doby letu (ToF). Atomární zdroj vodíku umožňuje řízenou depozici vodíku na vzorek.

This equipment is capable to analyze elemental composition, especially concentration of hydrogen and some other light elements (C, O) with high sensitivity below one atomic monolayer. The equipment consist of an ion source, an UHV manipulator with a sample, a detector of scattered and recoiled atoms and a source of atomic Hydrogen. Hydrogen atoms presented in the sample are recoiled by Ne ions and fly towards the detector in the drift tube. Its energy is analyzed using its time of flight. Atomic source of Hydrogen can be used for the controlled deposition of hydrogen on a sample.

Zařízení; detekce vodíku; LEIS; SARS; rozptyl; ToF-SARS

Device; Hydrogen detection; LEIS; SARS; Scattering; ToF-SARS

2014-09-10

Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, A2/518, Technická 2, Brno