3D optický profilometr pro mapování inženýrských povrchů

3D optical profilometer for surface topography mapping

Konferenční sborník (ne stať)

cs

V článku je prezentována aplikace interferometrie s řízenou změnou fáze (phase shifting interferometry – PSI) pro in-situ studium reálných tribologických problémů. Byl sestaven systém 3D optického profilometru, tj. měřicí aparatura a vyvinuté softwarové rozhraní. Článek obsahuje popis metody, použitého algoritmu, řešení kalibrace kamery metodou radiometrické autokalibrace (radiometric self calibration), popis měřicí aparatury a vyvinutého softwaru. Jsou prezen-továny výsledky ověření přesnosti měření na standardu SHS 880 QC VLSI a aplikace metody na reálné povrchy. Závěr obsahuje shrnutí práce a diskuzi o možnostech zlepšení přesnosti 3D profilometru.

This paper deals with the development of software for three dimensional optical profilometry based on phase shifting interferometry. The introduction describes the fundamentals of method, algorithm and sources of error. The main section includes the camera calibration solution by using radiometric self calibration, description of measuring configuration equipments. The characterization of developed software are part of the next section. Lastly, results of accuracy verification, measurement of real surfaces are presented and discussed.

optická interferometrie, interferometrie s řízenou změnou fáze, měření topografie povrchu, optický profilometr, standard SHS VLSI

optical interferometry, phase shifting interferometry, surface topography measurement, optical profilometer, standard SHS VLSI

2007-06-05

Ústav konstruování

Ústav konstruování, fakulta strojního inženýrství, VUT v Brně

978-80-214-3406-6

Konference diplomových prací 2007

1–5

5