Detail publikace

Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry

URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. FIEDOR, M. CHMELÍK, R. BUČEK, M. ŠIKOLA, T.

Anglický název

Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry

Typ

Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

A system for large area thin film homognity diagnostics by spectroscopic reflectometry.

Vydáno

2003-10-06

Nakladatel

ECASIA

Místo

Berlin

Kniha

ECASIA '03 Book of abstracts

Strany od–do

284–

Počet stran

1

BIBTEX


@inproceedings{BUT11095,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Marián {Fiedor} and Radim {Chmelík} and Miroslav {Buček} and Tomáš {Šikola}",
  title="Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry",
  booktitle="ECASIA '03 Book of abstracts",
  year="2003",
  pages="1",
  publisher="ECASIA",
  address="Berlin"
}