Detail publikace

In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS

ČECHAL, J. TICHOPÁDEK, P. NEBOJSA, A. BONAVENTUROVÁ – ZRZAVECKÁ, O. URBÁNEK, M. NAVRÁTIL, K. ŠIKOLA, T.

Anglický název

In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS

Typ

Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

Degradation of PMPSi under temperature and UV light uder UHV conditions studied by XPS and spectroscopic ellipsometry.

Vydáno

2003-10-06

Nakladatel

ECASIA

Místo

Berlin

Kniha

ECASIA 10 Book of Abstracts

Strany od–do

226–

Počet stran

1

BIBTEX


@inproceedings{BUT11096,
  author="Jan {Čechal} and Petr {Tichopádek} and Alois {Nebojsa} and Olga {Bonaventurová - Zrzavecká} and Michal {Urbánek} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola}",
  title="In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS",
  booktitle="ECASIA 10 Book of Abstracts",
  year="2003",
  pages="1",
  publisher="ECASIA",
  address="Berlin"
}