Detail publikace

Potentialities of optical profilometer MicroProf FRT for surface quality measurement

PÁLENÍKOVÁ, K. OHLÍDAL, M.

Anglický název

Potentialities of optical profilometer MicroProf FRT for surface quality measurement

Typ

Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

Principle, parameters and selected applications of the optical profilometer MicroProf FRT are presented.

Klíčová slova anglicky

Optical metrology, surface quality

Vydáno

2005-07-01

Nakladatel

SPIE – The internationalSociety for Optical Engineering

Místo

Bellingham, Washington, USA

ISBN

0-8194-5951-8

ISSN

0277-786X

Kniha

14 th Slovak-Czech Polish Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics

Časopis

Proceedings of SPIE

Ročník

5945

Strany od–do

59451O-1–59451O-6

Počet stran

6