Detail publikace
Potentialities of optical profilometer MicroProf FRT for surface quality measurement
PÁLENÍKOVÁ, K. OHLÍDAL, M.
Anglický název
Potentialities of optical profilometer MicroProf FRT for surface quality measurement
Typ
Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus
Jazyk
en
Originální abstrakt
Principle, parameters and selected applications of the optical profilometer MicroProf FRT are presented.
Klíčová slova anglicky
Optical metrology, surface quality
Vydáno
2005-07-01
Nakladatel
SPIE – The internationalSociety for Optical Engineering
Místo
Bellingham, Washington, USA
ISBN
0-8194-5951-8
ISSN
0277-786X
Kniha
14 th Slovak-Czech Polish Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics
Časopis
Proceedings of SPIE
Ročník
5945
Strany od–do
59451O-1–59451O-6
Počet stran
6