Detail publikace

In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

ČECHAL, J. TICHOPÁDEK, P. NEBOJSA, A. BONAVENTUROVÁ, O. URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. ŠIKOLA, T.

Anglický název

In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Typ

Článek recenzovaný mimo WoS a Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

Paper deals with an in situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Vydáno

2004-01-01

ISSN

0142-2421

Časopis

SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS

Ročník

38

Číslo

8

Strany od–do

1218–

Počet stran

4

BIBTEX


@article{BUT42361,
  author="Jan {Čechal} and Petr {Tichopádek} and Alois {Nebojsa} and Olga {Bonaventurová} and Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola}",
  title="In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS",
  journal="SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS",
  year="2004",
  volume="38",
  number="8",
  pages="4",
  issn="0142-2421"
}