Detail publikace

Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry

URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. SZOTKOWSKI, R. CHMELÍK, R. BUČEK, M. ŠIKOLA, T.

Anglický název

Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry

Typ

Článek recenzovaný mimo WoS a Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

Paper presents an instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry

Vydáno

2004-01-01

ISSN

0142-2421

Časopis

SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS

Ročník

36

Číslo

8

Strany od–do

1102–

Počet stran

4

BIBTEX


@article{BUT42362,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Robert {Szotkowski} and Radim {Chmelík} and Miroslav {Buček} and Tomáš {Šikola}",
  title="Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry",
  journal="SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS",
  year="2004",
  volume="36",
  number="8",
  pages="4",
  issn="0142-2421"
}