Detail publikace

In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry

BRANDEJSOVÁ, E. ČECHAL, J. BONAVENTUROVÁ, O. NEBOJSA, A. TICHOPÁDEK, P. URBÁNEK, M. NAVRÁTIL, K. ŠIKOLA, T. HUMLÍČEK, J.

Anglický název

In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry

Typ

Článek recenzovaný mimo WoS a Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

Paper deals with an in situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry

Vydáno

2004-01-01

ISSN

0447-6441

Časopis

Jemná mechanika a optika

Ročník

9

Číslo

9

Strany od–do

260–

Počet stran

3

BIBTEX


@article{BUT42364,
  author="Eva {Kolíbalová} and Jan {Čechal} and Olga {Bonaventurová} and Alois {Nebojsa} and Petr {Tichopádek} and Michal {Urbánek} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola} and Josef {Humlíček}",
  title="In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2004",
  volume="9",
  number="9",
  pages="3",
  issn="0447-6441"
}